微型XYT係（xì）列直線電機對位平台由微（wēi）型直線（xiàn）電機、微型交叉（chā）滾術導（dǎo）軌、編（biān）碼器位置反饋以及結構底（dǐ）座（zuò）組成，內部結（jié）構極為緊湊，高精定位運動台
適用（yòng）於：視覺對位、視覺檢測、精密裝配，亞微米（mǐ）級定位、光（guāng）學對（duì）位平台，力（lì）控製。各行業自動化設備點到點高（gāo）速定位、光學對位、微組裝、高速（sù）取放、飛針測試、光纖對準等（děng）應（yīng）用。
可根據客戶實際（jì）需求定製！
行（háng）程10mm，其他行程可定製；
高精度光柵尺，X、Y軸重複定位精（jīng）度可達±0.3um，T軸重複精度±1.2arc-sec；
分辨率可選0.2μm、0.05μm、SINCOS.
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