工作台采（cǎi）用十字疊層結（jié）構形式，滿（mǎn）足XY兩個自由度的運動

直線（xiàn）電機驅動，光柵尺編碼反饋

最大（dà）速度（dù）500mm/s,最大加（jiā）速度3g

進口高剛性直線導軌（guǐ），可保證長期穩定（dìng）的精度

全封（fēng）閉防塵結構，環境適用性廣