工作台采用十（shí）字疊層結構形式，滿（mǎn）足XY兩個自由度的運動

直線電（diàn）機驅動，光柵尺編碼反饋

最（zuì）大速度 1000mm/s,最大（dà）加速（sù）度1g

采用低膨脹係數、低吸水率的花崗石基台，可獲得高標準的尺寸穩定性和吸振性能

全封閉防塵結構，環境適應性廣

進口高剛性直線導軌，可保證長期穩定的精度，同時智（zhì）承自動化專業的技（jì）術團隊和檢測設備可保證（zhèng）直線導軌（guǐ）的性能穩定發揮（huī）