工（gōng）作台采用十字疊層結構形式，滿足XY兩個自由度的運動

直線電機驅動（dòng），光（guāng）柵尺編碼反饋

最大速度 500mm/s, 最大（dà）加速度1g

采用低膨脹係數、低吸水率的花崗石基台，可獲得高標（biāo）準的尺（chǐ）寸穩定性和吸振性能

進口高剛性直（zhí）線導（dǎo）軌，可保證長期穩定的精度，同時茄子视频APP污片自動（dòng）化專業的技（jì）術團隊和檢（jiǎn）測設（shè）備可保證直結導軌（guǐ）的性能穩定發揮