工作（zuò）台采用十（shí）字疊層結構形式，滿足XY兩個自由度的運動

直線電機（jī）驅動，光柵尺編碼反饋（kuì）

最大速度500mm/s,最（zuì）大加速度3g

進口高剛性直線導（dǎo）軌（guǐ），可保證長期穩定的精度

全封閉防塵結構，環境適用性廣