精密 XY 運動平台,滿足高(gāo)速、高加速、高精度的產品定(dìng)製需求,適用於LED封裝檢測、玻璃片檢測、激(jī)光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓(yuán)檢測、三維形貌等。
定製品,可根據客戶需求定製。
采用超靜音耐腐蝕交叉滾柱導軌,有效保證運動精度和直(zhí)線性(xìng),使用性能更加優異
無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機驅動,光柵尺編碼反饋
X、Y 微米級重複定位精度,重複定(dìng)位精度±1μm
獨特裝配工藝要求,保(bǎo)證產品一致性
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