光（guāng）束準（zhǔn）直

為了盡可能減低餘弦誤（wù）差，必須將激光測量光束調整為與運動軸平行。在長於 1 米（mǐ）的軸（zhóu）上，通過肉眼就比較容易實現。對（duì）於（yú）較短的軸難度（dù）會相應增大。要將餘弦（xián）誤差降到0.5 ppm 以下，需（xū）要將光束準直到 1 毫米/米以下。可采用下述方法優化準直光路，並使餘弦誤差降至最低：

將幹涉鏡放（fàng）置於測量位置進行準直

將幹涉鏡放置（zhì）於測量位置進行準直（zhí）。這樣（yàng）在準直光（guāng）路時可（kě）以（yǐ）確保（bǎo）照顧到幹涉鏡引起的任何光束偏轉。它的另一個優勢是可（kě）以通過係統光強顯示器（qì）顯示不同光強來協助（zhù）準直過程。

先使光（guāng）學鏡組（zǔ）彼此靠近

如果（guǒ）首先將幹涉鏡和角錐反射鏡放到軸的一端比較靠近的位置，準直會（huì）更（gèng）容易。這樣就可通過肉眼使光學鏡組外殼的外表麵準直，然後開始精確的（de）激光光束準直。餘下的準直工作（zuò）僅需調整激光頭。

不要完全依賴光強讀數

不要以為在整個軸行程上光強保持不變就意（yì）味著準（zhǔn）直已臻完美。大多數光強顯示器的靈敏度和分辨率不足以保證短軸的精確準直。

再次檢查激光頭處的準（zhǔn）直情況

檢查移動角錐反射（shè）鏡處的準（zhǔn）直情況後，再次檢查激光頭處返回光束（的準（zhǔn）直情況）。任何光束的光路未準直誤差所造（zào）成的影響都在激光頭處加（jiā）倍，因此比較容易檢測到（dào）。另外還可以核實返回到激光頭（tóu）上參考光束和測量光束間的重合程度。

使用小直（zhí）徑輸出光束

如果激（jī）光（guāng）頭有一個允許選擇小直（zhí）徑輸出光束的光閘， 則應利用它進行短軸準直（zhí）。光束的直徑越小，越容易發現任何光路未準直的情況。另外（wài）一個優勢是把（bǎ）光強降到低於 100%，因此更容易發現光強變化。

實現（xiàn）最大（dà）激光測量讀數（shù）

如果（guǒ）激光測（cè）量存（cún）在餘弦誤差，激（jī）光讀數將比應有（yǒu）讀數小。因此，在短軸上消除餘弦誤差是行得通的，方（fāng）法是：仔細調整激光頭的俯仰和扭擺， 直到獲得（dé）最大激光讀數（shù）。具（jù）體步驟如（rú）下：

a) 通過肉眼沿運動軸準直光（guāng）束。

b) 移動軸，使光學鏡組之間間隔最近（jìn），並將激光讀數清零（líng）。

c) 移（yí）動軸，使光學鏡組之間間隔最遠。

d) 仔細調整激光頭的俯仰和扭擺，以獲（huò）得最（zuì）大（dà）（絕對）激光測量值。

注（zhù）： 此步（bù）驟（zhòu）要求精細操作，但會（huì）非常有效（xiào）。如果激光頭放在三腳架（jià）上（shàng），可能需要（yào）做一係列的（de）精細調整，做（zuò）完每次調整（zhěng）需要將手（shǒu）從三腳架調節螺釘上拿開，然後觀察對激光讀數的影響。也可能（néng）需要平（píng）移激光頭以保持準直。最好重複以上步驟（zhòu），確認已經（jīng）準直。在此過程中，也可能需要選擇激光讀數的最高（gāo）分辨率，並（bìng）將“平均”設（shè）定為“開”。

使用激光準直傳感器

激光準（zhǔn）直傳感器可用於檢查光束準直（zhí）。有各種類（lèi）型的適用傳感器，包括（kuò）四象限光敏元（yuán）件（jiàn）（ “Quad cell”）、位置傳感器（ PSD）、光電耦合器件或 CCD 攝像頭（tóu）。一定要確保與光束（shù）直徑、波長和功（gōng）率相適應。還要注意幹涉（shè）鏡上的散（sàn）射光束（shù）反射和環境光散射的影響（xiǎng）。

自動（dòng）反射法

如果（guǒ）機器軸很短（duǎn）並且已知有平麵與運動軸（zhóu）正好垂直或（huò）平行（在（zài） 0.05°之內），則自動反射法很（hěn）有用。具體步驟如下：

a) 通過肉眼沿運動軸檢查光束準直。

b) 將鋼質塊規放到激光光（guāng）束路徑上（在幹涉鏡之後）並緊靠一個或多個平麵上。

c) 調整激光頭進行俯（fǔ）仰和（hé）扭擺準直，使塊規表麵反射（shè）的光束（shù）回到激光頭的（de）輸出光孔中。當激光頭與幹涉鏡相隔一定的距離時，這（zhè）種方法尤其有效

使幹涉（shè）鏡滾擺、俯仰和扭擺（bǎi）誤差降至最低

大多數幹涉鏡包含極化分光麵，必須根據（jù）激光光束狀態精確準直。如果準直不正確，信號之（zhī）間可能出現混淆。這可能導致（zhì）精度降低，並可能因光（guāng）束被阻擋而導致檢測失敗（bài）。一般說來，在滾擺、俯仰和扭擺（bǎi）方（fāng）向上，最好使幹涉鏡的（de）準直角度（dù）小（xiǎo）於（yú）±2°。這通（tōng）常可以通過目測完成，不過使（shǐ）用（yòng）上述的自動反射（shè）法也很有效。詳情請參閱（yuè）激光係統手冊。要檢驗幹涉鏡準直是否令人滿意，值得進行這樣一項測試，即阻擋幹涉鏡和角（jiǎo）錐反（fǎn）射鏡之間的光束，確認係統顯示“光束阻擋錯誤”標記。