光束準直（zhí）

為了盡可能減低餘弦誤差，必須將激光測量光束調整為與運動軸平行。在長於 1 米的軸上，通過肉眼就比（bǐ）較容易實現。對於較短的軸難度會（huì）相應增大。要將餘弦誤（wù）差降（jiàng）到0.5 ppm 以下，需要（yào）將光束準直到 1 毫米/米以（yǐ）下。可（kě）采用下述方法優化（huà）準直光路（lù），並使餘弦誤差降至最（zuì）低：

將（jiāng）幹涉鏡（jìng）放置於測量位置進行準直

將幹涉鏡放置於測量位置進（jìn）行準直。這樣在準直光路（lù）時可以（yǐ）確保照顧（gù）到幹涉鏡引起的（de）任何光束偏轉（zhuǎn）。它的另一個優勢（shì）是可以通過係統光強顯示器顯示不同光強（qiáng）來（lái）協助準直過程。

先使光學鏡組彼此靠近

如果首先將幹涉鏡和角錐反射鏡放到軸（zhóu）的一端比較靠近的位置，準直會更容易。這樣就可通過肉眼使（shǐ）光學鏡組外（wài）殼（ké）的外表（biǎo）麵準直，然（rán）後開始精確的激（jī）光光束準直。餘（yú）下的準（zhǔn）直工作僅需調整激光（guāng）頭。

不要完全依賴光強讀數（shù）

不要（yào）以為在整（zhěng）個軸行程上光強保持（chí）不變就意味著準直已臻完美。大多數光強顯示（shì）器的靈敏度（dù）和分辨率不足以保（bǎo）證短軸的精確準直。

再次檢查激（jī）光頭處的準（zhǔn）直情（qíng）況（kuàng）

檢查移動角錐反射鏡處的準直情況後，再次檢查激光頭處返回光束（的準（zhǔn）直情況）。任何光束的光路（lù）未準直誤差所造（zào）成的影響都在激光頭（tóu）處加倍，因此比較容易檢測到。另外還可以核實返回到激光頭上參考光束和測量光束間的重合程度。

使用小直徑輸（shū）出光束

如果激光頭有一個允許選擇小直（zhí）徑輸出光（guāng）束的光閘， 則應利用它進行短軸準直。光束的直徑越小，越容易發現任何光路未準（zhǔn）直的情況。另外一個優勢是把光（guāng）強降到（dào）低於 100%，因此更容易發現光強變化。

實現最大激光測量讀數

如果激（jī）光（guāng）測（cè）量存在餘（yú）弦誤（wù）差，激光讀數將比應有讀數小。因此，在短軸上消除餘弦誤差是行得通的，方法是：仔細調（diào）整激光頭的俯仰和扭擺， 直到獲得最大（dà）激光讀數。具體步驟如下：

a) 通過肉眼沿運動軸（zhóu）準直光束。

b) 移動軸，使（shǐ）光學鏡組之間間隔最近，並將激（jī）光讀數清零。

c) 移動軸，使光學鏡組之間間隔最（zuì）遠。

d) 仔細調整激光頭的俯仰（yǎng）和扭擺（bǎi），以獲得最大（絕對）激光測量值。

注： 此步驟要求精細操作，但（dàn）會非常有（yǒu）效。如果激光（guāng）頭（tóu）放在三腳架上，可能需要做一係列的精細調整，做完每次調整需要將手從三腳架調節螺釘上拿開，然後觀察對激光讀數（shù）的影響。也可能需（xū）要平移激光頭以保持準（zhǔn）直。最好重複以上步（bù）驟，確認已經準直。在此（cǐ）過程中，也可能需要選擇（zé）激光讀數的最（zuì）高分辨（biàn）率，並將（jiāng）“平均”設定為“開”。

使用激光準直傳感器

激（jī）光準直（zhí）傳感器可用於檢查光束準直。有（yǒu）各種（zhǒng）類型的（de）適用傳感器，包（bāo）括四象限光敏元件（ “Quad cell”）、位置傳感器（ PSD）、光電耦合器件或 CCD 攝像頭。一定要確保與光束直徑、波（bō）長和功率相適應。還（hái）要注（zhù）意幹涉鏡上的散射光束（shù）反射和環境光散射的影響。

自動反射法

如果機器軸（zhóu）很短並且已知有平麵與運動軸正好垂直或平行（在（zài） 0.05°之內），則自（zì）動反射法很有用。具體步驟（zhòu）如下：

a) 通過肉眼沿運動軸檢查光束準直（zhí）。

b) 將（jiāng）鋼質塊規放到激光光束路（lù）徑上（在幹涉鏡之後）並緊靠一個或多個（gè）平麵上。

c) 調整激光頭進行俯仰和扭擺準直，使塊規表麵反射的光束回到激光頭的輸出光（guāng）孔中。當激光頭與幹涉鏡相（xiàng）隔一定的距離時，這（zhè）種方法尤其有效

使幹涉鏡滾擺、俯仰和扭擺誤差降至最低

大多數幹涉鏡包含極化（huà）分（fèn）光麵，必須根據激光（guāng）光束狀態精（jīng）確準直。如果準直不正確，信號之間可能出現混淆。這可能導致精度（dù）降低，並可能因光束被阻擋而導致檢測（cè）失敗。一般說來，在滾（gǔn）擺、俯仰和扭擺方向上，最好使幹涉鏡的準直（zhí）角（jiǎo）度小於±2°。這通常可以通過目測完成，不過使（shǐ）用上述（shù）的自動反射法也（yě）很有效。詳情請參閱激光係統手冊。要檢驗幹涉鏡準直是否令人滿意，值得進（jìn）行這樣一項測（cè）試，即阻擋幹涉鏡和角錐反射鏡之間的光束，確（què）認係統顯示“光束阻擋錯誤”標記。