微米是極小的距離測量單位。（1微米比一根（gēn）頭發的1/25還細。由於太細，所以肉眼無（wú）法看到（dào），接（jiē）近於傳統光學顯（xiǎn）微鏡的極限值）。可實現微米級及（jí）更高分辨率的數顯表（biǎo）的廣泛使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數點後（hòu）有很多（duō）位數，但並不表明都（dōu）很精確，（在許多情況下精度（dù）比顯示的分辨（biàn）率低10-100倍）。實（shí）現1微米的測量分辨率很容易，但要得到1微米的測量精度需要特別注意一些（xiē）細節。本文描述了可用於提高激光幹涉儀測量精度的方法，最佳操（cāo）作步驟和實踐經驗主要（yào）針對使用激光幹涉儀校準機床如車床、銑床以及坐標測量機（jī）的線性（xìng）精度。但（dàn）是，文（wén）中描述的一般原則適（shì）用於所有情況。（與激光測量方法相關的（de）其它項目，如角（jiǎo）度、平麵度直線度和平行度測量不包括在內，用於實現0.1微（wēi）米即0.1ppm以下的短距離（lí）精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包（bāo）括在內）


光學鏡組（zǔ）的位（wèi）置（zhì）
光學鏡的安（ān）放應保證其間距變化能夠精確地（dì）反（fǎn）映待校準（zhǔn）機器（qì）部（bù）件的線性運（yùn）動（dòng），並且不受其（qí）它誤差的影響，方法如下：
使用Abbe(阿貝）偏置誤（wù）差降至最低
激光（guāng）測量光束應當與需要校準的準（zhǔn）線重合（hé）（或盡量靠（kào）近）。例如，要校準車（chē）床Z軸（zhóu）的線性定位精度（dù），應當（dāng）對測量光（guāng）光束（shù）進行準直（zhí），使之靠近主軸中心線（xiàn）。（這樣可以極大（dà）降低機床俯（fǔ）仰（pitch)或扭擺（yaw）誤差對線性精度校準數據的影響。
將光學鏡組固定牢（láo）靠
要盡量減小振動影響並提高測理穩定性，光學鏡組牢牢固定所需的測量點上，安裝（zhuāng）支柱（zhù）應盡可能短（duǎn），所有（yǒu）其它（tā）緊固件（jiàn）的恒截麵都應盡量牢固（gù）。磁力表座應直接夾到機床鑄件（jiàn）上。避免將其夾到橫截麵較薄的（de）機器防護罩可（kě）外（wài）蓋上。確保緊固件表麵平坦並沒有（yǒu）油汙（wū）和灰塵。
將光學鏡組直接固定在相關的點上
材料膨脹補償通常隻應該用在與測量（liàng）激光距離等長的材料路（lù）徑長度上，如果測量回路還包括附加的（de）結構，該“材（cái）料死程”的任何（hé）熱膨脹或收縮或因承載而發生的偏斜都將導致測量誤差。為盡量減少此類誤差， 最好將光學鏡組直接固定到所需的測量點上。在機（jī）床校準中，一個光學鏡通常（cháng）固定在工件夾（jiá）具上，而另一個光學鏡組則固定在刀具夾具上（shàng）。激（jī）光測量將會精確地反映刀具和工件之間發生的誤差。 即使機器防護係統和（hé）機器蓋導致難於接近，也一定要盡量將幹涉鏡和（hé）角錐反射鏡都固定（dìng）到機器上。 不要將一個光學鏡安裝（zhuāng）在機器內部而另一個安裝在外（wài）部（bù）如支在機器外地麵的三腳架上，因為（wéi）整台機器在地基上的（de）移動可能導致校準無效（xiào）。然而，是否拆下導軌防護罩時需仔細考慮，因為這可能改變機器性能。