微米是極（jí）小的距離測量單位。（1微米（mǐ）比一根頭發的1/25還細。由於太細，所以肉眼無法（fǎ）看到，接近於（yú）傳統光學顯微鏡的極限值）。可（kě）實現微米級及更高分辨率的數顯表的廣泛（fàn）使用，為用戶提供（gòng）了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數點（diǎn）後有很多位數，但並不表明都（dōu）很精確，（在許多情況下精度比顯示的分辨率低（dī）10-100倍）。實現1微米的測量分辨率很容（róng）易，但要得到1微米的測量精度需要特別注意一些細節。本文（wén）描述了可用於提高激（jī）光幹涉儀測量精度的（de）方法，最佳操作（zuò）步（bù）驟和實踐經驗（yàn）主要針對使用激（jī）光幹涉儀校準機床如車床、銑床以及坐標（biāo）測量機的（de）線性精度。但是，文中描（miáo）述的一般原則適用於所（suǒ）有情況。（與激光測量方法相（xiàng）關（guān）的（de）其（qí）它項目，如角度、平麵（miàn）度直線度和平（píng）行度測量不包括在內（nèi），用於實現（xiàn）0.1微（wēi）米即0.1ppm以下的短（duǎn）距離精度測量的特殊方法（如真空操作（zuò））也不包括在內）


光學鏡組（zǔ）的位置
光學鏡的安放應保證其間（jiān）距變化能夠精確地反映待校準機器部件的線性運動，並且不受其它誤差的影響，方法如下：
使用Abbe(阿貝）偏置誤差降至最低
激（jī）光（guāng）測量光（guāng）束（shù）應當與需要校準的準線重合（或盡量（liàng）靠近）。例如，要校準車床Z軸的線性定位精度，應當對測量光光束進行準（zhǔn）直，使之靠近主（zhǔ）軸中（zhōng）心（xīn）線。（這樣可以極大降低機（jī）床俯仰（pitch)或扭擺（yaw）誤差（chà）對線性精度校準數據的影響。
將光學鏡組固定牢靠
要盡量減小振（zhèn）動影響並提高測理穩定性，光學鏡組牢（láo）牢固定所需的測量（liàng）點上，安裝支柱應盡可能短，所有（yǒu）其它緊固件（jiàn）的恒截麵都應盡量牢固。磁力（lì）表座應直接夾到（dào）機床鑄件上。避免將其夾到橫截麵（miàn）較薄的機器防護罩可外蓋（gài）上。確保緊固件表麵平（píng）坦（tǎn）並沒（méi）有油汙和灰塵。
將光學鏡組直接固定在相關（guān）的點上
材（cái）料膨脹補償（cháng）通常隻應該用在與測量激光距離等長（zhǎng）的材（cái）料路徑長（zhǎng）度上，如果測量回路還包括附加的結構，該“材料死程”的（de）任何熱膨脹或（huò）收縮或因承載而發生的偏斜都將導致（zhì）測量誤差。為盡量減少此類誤差， 最好將光學鏡組（zǔ）直接固定到所需的測量點上。在機床校準中（zhōng），一個光學鏡（jìng）通（tōng）常固定（dìng）在工件夾（jiá）具上，而另一個光學鏡組則固定在刀具夾具上。激光測量將（jiāng）會精確地（dì）反映（yìng）刀具和工件之間（jiān）發生的誤差。 即使機器防護係統和機器蓋導致難（nán）於接（jiē）近，也（yě）一（yī）定要盡量將幹（gàn）涉鏡和角錐（zhuī）反射鏡都固定到機器上。 不要將一個光學鏡（jìng）安裝在機（jī）器內部而另一個安裝在外部如支在機器外（wài）地（dì）麵（miàn）的三腳架上，因為整台機器在地基上的移動可（kě）能導致（zhì）校準無（wú）效。然而，是（shì）否拆下導軌防護罩（zhào）時需仔細考（kǎo）慮，因為這可能改變機器性能。